2007年，市场上有各类硅单晶生长设备1500余台，硅片回收，分布在70余家生产企业。2007年5月24日，半导体硅片回收，“863”计划超大规模集成电路（IC）配套材料重大专项总体组在北京组织对西安理工大学和北京有色金属研究总院承担的“TDR-150型单晶炉（12英寸MCZ综合系统）”完成了验收。这标志着拥有自主知识产权的大尺寸集成电路与太阳能用硅单晶生长设备，硅片回收站，在我国次研制成功。这
