UPNM/SPS-LJ-1602型蓝宝石基片CMP浆料是山东银丰纳米新材料有限公司生产的高纯度胶体浆料。该产品是为了适应蓝宝石行业提高加工效率的需要而生产的新一代蓝宝石基片CMP浆料，应用在蓝宝石衬底晶片2寸片、4寸片的CMP工艺中，产品投放市场后达到了较好的使用效果。产品CMP加工中具有移除速率高、悬浮性强、易清洗、使用寿命长等特点，加工后的蓝宝石基片表面平整度、粗糙度等参数达到国内水平。
