设备技术参数表 1 行程 X行程 1230mm Y行程 2440mm Z行程 200mm 进料高度 70mm 2 精度 加工精度 0.05mm 重复定位精度 0.05mm 3 结构 台面结构 真空腔体吸附台面 传动形式 X、Y齿条、Z丝杠 4 速度 空行速度 80000mm/min 工作速度 25000mm/min 5 主轴 主轴功率 6KW×2台