一、主要技术参数: 1. 测量范围:0~10 0~20 0~30 0~40 0~50(mm) 2. 栅 距:10um100对线/毫米,20um(50X寸线/毫米) 3. 显示分辨率:0.5um,5um,1um 4. 准 确 度:±1um, ±2um 5. 重复精度:±1个显示值 6.输出信号:相位依次相差90°幅值大于500mv二路或四路脉冲信号,无参考零位 7.光