一、设备总体描述： 用于6寸/8寸硅晶圆在切割前固定胶带的贴敷，贴膜机内部屏蔽静电，对超薄圆片进行贴膜，边缘无裂片，无破膜。 设备采用人工上片，自动贴膜，自动切膜，人工下片的方式进行作业。 二、设备安装
