武汉红星杨科技HGZQ系列气浮光学平台应用领域:适合于显微镜、光路测试、光学测量、激光干涉、激光扫描、光谱全息实验等领域应用技术指标: ■平面度:< 0.05mm/m2■表面粗糙度:< 0.8μm■固有频率;x方向:1.2Hz~2.0Hz ?y方向:1.2Hz~2.0Hz? ? ? ? ?&nbs