无尘车间可以分为以下几个级别:1级 这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业,无尘车间,对集成电路的精que要求为亚微米。 ? ? ?? ?10级 这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。 ? ? ?? ?100级 很多人认为,这一级无尘车间是常用因而是