无尘车间可以分为以下几个级别：1级 这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业，东坑无尘车间净化，对集成电路的精que要求为亚微米。 ? ? ?? ?10级 这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。 ? ? ?? ?100级 很多人认为，这一级无尘车间是常用因而是重要的无尘车间，人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室，以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求，中堂无尘车间净化
