VARIAN TV801/TV902分子泵入口法兰：DN160ISO-F出口法兰：KF25Pumping speed (withinlet screen) :? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?N2 ? ? 680 ?l/s? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?He: ? ?810?l/s? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?H2: ? ?850?l/s常见分子泵维修及处理方法?缺水
