CCD光电荷的转移途径：有CCD表面沟道（SCCD)和体沟道（BCCD，也称为埋沟道CCD)两种方式。表面沟道CCD的电荷转移途径距离半导体-绝缘体分界面较近，工艺简单，动态范围大，但信号电荷的转移受表面态的影响，转移速度和转移效率低，工作频率一般在10MHz以下。为了消除这种现象，以提高CCD的工作速度，用离子注入方法转移沟道的结构，CCD质量哪家好，从而使势能极小值脱离界面而进入衬底内部，形成
