本公司COL－系列无尘烘箱系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤，强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到温度控制精度。 技术参数： 1. 百级无尘烤箱型号:COL-2 2. 无尘烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500 3. 温度范围：RT＋60℃～300℃ 4. 无尘
