化学气相蒸镀的优点大于99.9%之高密度镀层，有良好的真空密封性 2) 高纯度 3) 高强度-与晶体结构，大小，纯度，密度，蒸镀，内应力有关 4) 可在相当低的温度下镀上高熔点材料镀层 5) 良好的抛镀力 6) 可控制晶粒大小与微结构 7) 可制作微粒子...什么是真空蒸镀金属薄膜工艺什么是真空蒸镀金属薄膜是在真空条件下，蒸镀薄膜，将金属蒸镀在薄膜基材的表面形成复合覆膜的一种工艺。被镀金属可是金、
