蒸镀镀前准备镀膜室抽真空到合适的真空度，对基片和镀膜材料进行预处理。加热基片，其目的是去除水分和增强膜基结合力。在高真空下加热基片，能够使基片的表面吸附的气体脱附。然后经真空泵抽气排出真空室，有利于提高镀膜室真空度、膜层纯度和膜基结合力。然后达到一定真空度后．先对蒸发源通以较低功率的电，真空蒸镀，进行膜料的预热或者预熔，真空蒸镀厂家，为防止蒸发到基板上，用挡板遮盖住蒸发源及源物质，然后输入较大功率
