实验室通常使用真空泵(Vacuum pump)来产生真空。由于从粗真空到极高真空压力跨度高达十几个数量级(Pa),所以,实验上要求不同的真空度时需要选择不同种类的真空泵。要获得高真空或超高真空,一般需用几种泵的联合组合使用才能达到。 真空泵按获得真空的机理和方式可分为压缩型的真空泵和吸附型真空泵两大类。压缩型泵(Compression pump) ,是将气体由特定容器压缩,然后排放至容器外。