硅微粉的生产方法主要有：，三lu氢硅法将干燥的硅粉加入合成炉中，与通入的干燥lu化氢气体在280～330℃有氯化亚铜催化剂存在下进行氯化反应，供应涂料级硅微粉，反应气体经旋风分离除去杂质，再用氯化钙冷冻盐水将气态三lu氢硅冷凝成液体，经粗馏塔蒸馏和冷凝，鞋材硅微粉，除去高沸物和低沸物，硅微粉，再经精馏塔蒸馏和冷凝，得到精制三lu氢硅液体。纯度达到7个“9”以上、杂质含量小于1×10-7，硼要求在0
