低温等离子法1、低温等离子是内外电极在高压状态下进行间隙放电，间隙间通过的气体被电离的过程。由于放电电压较高38000v，电子在与空气中的氮气碰撞产生大量的氮氧化物，废气治理，造成二次污染。臭氧发生器与低温等离子放电技术和放电原理一样，而放电电压3500v，几乎无氮氧化物产生。(老式工频臭氧发生器35000v，使用一段时间后，罐体内会产生大量氮氧化物溶胶，3500v放电，无任何残余物)2、粉尘类物
