洁净度100级 cleanliness class 100洁净室里大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L);大于等于5μm的尘粒数为0。周期中建立模范标准的决心。洁净度1000级 cleanliness class 1000洁净室里大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒/m3(35粒/L)
