高纯氦气质量标准高纯氦气产品的质量应符合下表要求。表中的“纯度”、“含量”均为体积分数(V／V)。才能称之为高纯氦气。高纯氦气的技术要求：项 ? ?目 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 优等品 ? ? ? ? ? ? ?一等品 ? ? 合格品氦气纯度，10-2 ? ? ? ? ? ≥99.9996 ? ? ? ?99.9993 ? ? 99.999n含，lO-6 ? ? ? ? ? ? ?
