两种类型X射线光谱仪的主要部件及工作原理叙述如下：X射线管：两种类型的X射线荧光光谱仪都需要用X射线管作为激发光源。灯丝和靶极密封在抽成真空的金属罩内，灯丝和靶极之间加高压（一般为50kV），灯丝发射的电子经高压电场加速撞击在靶极上，产生X射线。X射线管产生的一次X射线，作为激发X射线荧光的辐射源，其短波限0λ与高压U之间具有以下简单的关系 λ0(nm)=1.23984÷U只有当一次X射线的波长稍
