氦气侧漏原理检测基本原理 吸气泵收集氦气,氦气进入仪器的分析管,分析管由离子产生器、磁铁、离子收集器所组成。离子产生器内有白热丝,飞艇氦气,经加热后会产生热电子,热电子和气体分子撞击后会使气体产生离子化现象。所有离子化的气体分子会飞往磁铁部,集合到磁铁部的气体离子会因其质量而产生弯曲现象,40L氦气,仅有氦气离子会前往离子收集器。依据离子收集器所收集到的氦气离子电流测定氦气量。即收集氦气浓度愈高,