精密化 为了使气缸的定位更精准，使用了传感器、比例阀等实现反馈控制，定位精度达0.01mm。在气缸精密方面还开发了0.3mm/s低速气缸和0.01N微小载荷气缸。在气源处理中，过滤精度0.01mm，过滤效率为99.9999%
