能量色散X荧光光谱仪具有无损，和无标样定性、定量的一些优点。能量色散光谱仪的检测器很重要，主要有Si(Li)，Si-pin，和SiDDD，其中Si(Li)晶体检测器是较好的，其次是SiDDD叫硅漂移的检测器，ROHS检测仪，再有就是Si-pin检测器了。检测器好坏带来的影响就是分辨率的高低，SiLi在150ev左右，Sipin在260ew。放射源每家的设计也会有所不同，一般的都是只要打开机器X射线
