无尘车间-洁净厂房的竣工验收，是在各分部单机试车，无生产负荷系统试车自检合格后进行。竣工验收的内容是对各分部工程的单机试车和无生产负荷系统试车的核查，洁净室(区)性能参数检测和调试、各分部观感质量核查，按要求进行功能检测和调试。(1)洁净厂房竣工验收时，应认真检查竣工验收的资料，一般包括下列文件及记录：1 图纸会审记录、设计变更通知书和竣工图;2 各分部工程的主要设备、材料和仪器仪表的出厂合格证明
