? ??尽管洁净室仍然需要过滤空气，洁净室，但过滤器的数量逐渐从完全覆盖率降低到到35%覆盖率。结果，流过整个空间和经过架空地板的空气流量减少，穿孔地板的数量减少了，从而在洁净室里更多地使用实心地板。 ? ?? ??传统的地板系统的接地方法在工业中没有多大改变。通常的方法是夹在支架上，然后连在一起接到建筑物的接地系统里。防静电地板已经被广泛应用，它利用特殊的具有耐化学腐蚀性的乙烯基材料，洁净室制造
