均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，净化车间，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。209E与209D等z大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，承接净化车间，洁净室等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取
