复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可排出室外而不会影响其它工作区域。优点：管理容易，承接洁净室，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。缺点：构造费用较高，洁净室，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。 注意
