根据DINENISO14644-1标准，洁净室根据空气中单位体积内含有的粒子数量来划分洁净等级。洁净空气的等级通过测量粒子的浓度来确定。如果测量出的粒子浓度值小于指1定大小的粒子规定的浓度限值，则被视为达标。粒子可以是固体或液体形式。对于某些特别敏感的工艺流程，如单个部件的生产过程中所使用的油脂产生的蒸发物，也可能产生不利影响。用于洁净室的起重装置和小车必须经特殊设计和制造，使其在运行过程中不会产
