????? 大气压等离子体技能的实质也就是气体放电原理，双介质阻挡放电低温等离子设备价格，在电场效果下被击穿而导电，由此? 发生的电离气体叫做气体放电等离子体[3]。我们把大气压等离子体分为平衡(热)或非平衡(冷)等离子体两大类。现在低气压等离子体己在资料处理范畴得到广泛应用，该种等离子体可发生用来刻蚀或堆积薄膜的高浓度活性粒子，但是在运行低气压等离子体时也存在一些缺点，像真空体系贵重却需
