????? 等离子体是一种电离状况的气体,它是由美国科学MUIR于1927年在研讨低压下蒸汽放电现象时命名的[2]。等离子体被称作除固态、液态和气态之外的第4 种物质存在形状,它是由很多的子、中性原子、激发态原子、光子和自由基等组成,但电子和正离子的电荷数有必要体表现出电中性。常见的发生等离子体的办法是气体放电,气体放电等离子体首要分为以下几种方式:①辉光放电;③介质阻挠放电;④射频放电;