解罗茨真空泵原理 ?罗茨真空泵(简称罗茨泵)是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演化而来的。依据罗茨真空泵工作范围的不同,又分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵(又称机械增压泵)和高真空多级罗茨泵。普通来说,罗茨泵具有以下特性: ?在较宽的压强范围内有较大的抽速; ?起动快,能立刻工作; ?对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感; ?转子不用光滑,泵腔内无油; ?振动小,转子动均衡