氦气纯度工业氦项目名称指标氦气纯度：≥99%（氢）、氧、甲烷总含量，%≤1水分含量，≤-43℃纯氦项目名称指标优等品一等品合格品氦气纯度，%≥99.99599.99399.99含量，ppm≤152540氢含量，ppm≤357氧含量，ppm≤355氮含量，ppm≤111二氧化碳，ppm≤111甲烷量，ppm≤111水分含量，ppm≤101520高纯氦气氦气纯度>99.999%，杂质含量（pp
