氦气纯度工业氦项目名称指标氦气纯度:≥99%(氢)、氧、甲烷总含量,%≤1水分含量,≤-43℃纯氦项目名称指标优等品一等品合格品氦气纯度,%≥99.99599.99399.99含量,ppm≤152540氢含量,ppm≤357氧含量,ppm≤355氮含量,ppm≤111二氧化碳,ppm≤111甲烷量,ppm≤111水分含量,ppm≤101520高纯氦气氦气纯度>99.999%,杂质含量(pp