（3） 扩散泵：以低压高速蒸汽流作为工作介质的放射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度不断是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经特地的机械保送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，北
