常吸气剂泵都应有三部分：吸气面，蒸发源和控制器构成。蒸发源应当易于调节，可连续或间断的控制蒸发率。控制器则应让使用者了解当前的膜厚和膜厚增加速率。 其中，蒸发源的设计有以下几种：(1).缠绕式蒸发源。将膜材制成丝状，直接缠绕于钨丝上，这样，当钨丝通电发热时，膜材就会被不断地蒸发出来，这样的设计便于制作，临夏真空泵，但丝此时会将钨丝短路，蒸发时电阻不稳定，影响蒸发速率。(2).丝式蒸发源。
