行星式滑阀泵与体积和转速相等的其它滑阀泵比拟，由于滑阀体尺寸小，抽速可增加一倍。同样也可相应地进步泵的转速。但由于滑阀杆在这种构造中摆动很大，所以目前该构造只宜于小型泵。 由于滑阀泵的资料、振动、噪音等一系列问题尚待处理和完善，因而影响了泵转数的进一步进步。高转数(可达1000r/min)目前于抽速为40L/S以下的小型泵。 。三、肯定工作真空范围 ? ?首先必需检查肯定每一种工艺恳求
