用电阻加热,石墨管发热体寿命长,加热效果好; 采用特殊的炉胆结构和加热器布置,炉温均匀性好; 采用的隔热结构和材料,炉胆隔热性能好、蓄热少; 采用触摸屏操作,PLC集中控制,操作简单,可靠性高; 具有超温超压等故障报警,机械式自动压力保护,动作互锁等功能,设备安全性高; 采用台湾电力调整器,非常完善的可控硅超载、短路和误触发,和过压保护; 高效的真空抽气装置,采用2H滑阀泵+ZJP罗茨