? ? ? ? ? 球状活性炭这种过滤器在洁净室中有多种应用：在洁净系统顶棚处超高效空气微粒过滤器（ULPA）上风位置安装能对分子级别的污染起防护作用。? ? ? ? ?? ? ? ? ? 在洁净棚或层流罩处安装能防止洁净系统的自生分子级别污染，与标准的超高效空气微粒过滤器（ULPA）和超高
