60年代，HEPA过滤器问世；70年代，采用微细玻璃纤维过滤纸作为过滤介质的HEPA过滤器，压缩空气冷冻式干燥机的制作厂家，对D．3微米粒径的粒子过滤达99．9998。八十年代以来，随着新的测试方法的出现、使用评价的提高及对过滤性能要求的提高，发现HE—PA过滤器存在着严重的问题，耐高温空气过滤器，于是又产生了性能更高的ULPA过滤器。目前，各国仍在努力研究，估计不久就会出现更的空气过滤器。 根据
