硅碳负极材料CVD炉 适用于 硅碳负极材料的生产、实验 产品特点 ●炉内密封性及佳,可通入氮气、乙炔、甲烷、等混合气体。 ●组合进料方式,进料量精准控制。 ●配置电子流量计、蠕动泵;炉内.温度、压力、流量自动控制。 ●轻质炉膛,热,能耗低,炉内温度均匀性好 ●PLC全自动控制整套工艺过程,通过触摸屏操作简洁直观。 ●运行平稳,宜维护,设备大小可根据需求非标定制。 KY-R-