? ? ?复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，工厂无尘室设备搬迁公司报价，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，厂房无尘室设备搬迁公司报价，以避免机器维修时影响了工作及，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优
