? ?无尘室内防止微粒子污染的基本原则：? ? 不发生 在控制大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到小限度应采取以下对策： 减少接触剥离发尘的动作形态； 采用磨耗发尘小的材质； 采用发尘小的润滑油； 机台应用空压浮上的非接触化工作原理。
