? ? ?低温等离子体设备净化作用机理包含两个方面:一是在产生等离子体的过程中,低温等离子废气设备,高频放电所产生的霎时高能足够翻开一些有害气体分子的化学能,使之合成为单质原子或无害分子;二是等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激起态粒子和具有强氧化性的自在基,这些活性粒子和局部臭气分子碰撞分离,在电场作用下,使臭气分子处于激起态。当臭气分子取得的能量大于其分子键能的分离能时,阿坝低温