臭氧灭菌和消毒臭氧具有很强的杀菌能力，臭氧依靠其强氧化作用杀死微生物。他对微生物细胞中的各种成分起反应，导致不可逆转的变化。通常认为微生物的细胞膜首先起作用，导致膜的组成成分受损，导致代谢紊乱并抑制其生长，并且臭氧继续渗透并破坏膜中的组织直至其被杀死
