? ? ?低温等离子体化学反响的进程大致如下：? ? ? 从上述反响进程可以看出，电子先从电场获得能量，经过激起或电离将能量转移到污染物分子中去，获得能量的污染物分子被激起，局部分子被电离，然后成为活性基团。然后这些活性基团与氧气、活性基团与活性基团之间互相磕碰后生成稳定产品和热。别的，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反响
