与激光位移传感器相比其他类位移传感器电涡流位移传感器分辨率：电涡流传感器的分辨率可达到0.1um，与激光位移传感器基本相当线性度：电涡流传感器的线性度一般较低，为量程的1%左右，激光位移传感器则一般为0.1%测量条件：电涡流传感器要求被测体为导体而且非导磁，即不导磁的导体，例如铝、铜等。铁则不行。激光位移传感器则对无论被测体是否导磁、是否导电都能测。电容位移传感
