超声波抛光就是将零件放在磨料悬浮液中，然后放进有超声波场的装置内。依靠超声波的振荡作用使磨料在零件表面起磨削抛光作用，而成为一种新的抛光方法。抛光中使用的磨料有尺寸为200～2000目的氧化铝、碳化硼、碳化硅及金刚砂粉末等。粉末越细，抛光出来的表面越光滑。例如，用200目的磨料粉可获得Ra0.5um的光亮度，而用800目的磨料粉可获得Ra0.2um的光亮度。 温度高抛光效率加速，但产生较多
