有机废气治理技术早在1925年欧洲就开发出固定床活性碳吸附装置，1958年日本也开始使用该项技术。这是一种非常经典、成熟的方法，可用于治理任何浓度的常温有机废气， 但处理低浓度、大风量有机废气时，设备庞大，催化燃烧设备，不经济。对于排气温度较高的高浓度有机废气的治理，首先由美国于1950年开发成功以天然气为燃料的直接燃烧 技术。1965年日本与美国合作，将该项技术引
