江苏一六仪器? ?X射线电子元件膜厚仪膜厚仪的影响因素有哪些1、基体金属厚度每一种仪器都有一个基体金属的临界厚度。大于这个厚度，测量就不受基体金属厚度的影响。2、边缘效应本仪器对试件表面形状的陡变敏感。因此在靠近试件边缘或内转角处进行测量是不可靠的。3、曲率试件的曲率对测量有影响。这种影响总是随着曲率半径的减少明显地增大。因此，在弯曲试件的表面上测量是不可靠的。4、试件的变形测量头会使软覆盖层试件
