溅射原理以下是创世威纳为您一起分享的内容,创世威纳生产磁控溅射镀膜设备机,欢迎新老客户莅临。1.1 溅射定义就像往平静的湖水里投入石子会溅起水花一样,用高速离子轰击固体表面使固体中近表面的原子(或分子)从固体表面逸出,这种现象称为溅射现象。1.2 溅射的基本原理溅射是指具有足够高能量的粒子轰击固体表面使其中的原子发射出来。早期人们认为这一现象源于靶材的局部加热。但是不久人们发现溅射与蒸发