? ??研磨盘是平面研磨机的一个重要组成，它决定了产品的以及质量。作为一种常用的超精密加工方法，超精密在加工过程中，研磨盘的表面形貌能在一定程度上“”到工件表面上，同时，其面型精度对被加工工件质量有重要影响。 ? ? 在研磨加工中，必须通过在线修整，来保持研磨盘的平面度。可以通过修正环的旋转来实时连续修正研磨盘的平面度，或者采用车削修整的方式对研磨盘进行修整。对研磨盘材料而言，既要求其有较高的硬
