磁控溅射镀膜机的工作原理控溅射原理电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与原子发生碰撞，真空磁控溅射镀膜机多少钱，电离出大量的离子和电子，电子飞向基片。离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响，被束缚在靠近靶面的等离子体区域内，该区域内等离子体密度很高，二次电子在磁场的作用下围绕靶
